详细摘要: 编号内容规格参数备注1整机结构带load port系统分为前端设备操作单元、前端EFEM单元及等离子处理单元,前端EFEM系统与等离子体处理单元分体式设计2等离...
产品型号:所在地:苏州市更新时间:2024-11-28 在线留言奥坤鑫(苏州)机电科技有限公司
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